Rincian Mesin Pelapisan Vakum

Detail mesin pelapis vakum

Ikhtisar sistem

Mesin pelapis vakum terutama mengacu pada jenis pelapis yang perlu dilakukan pada tingkat vakum yang tinggi, termasuk banyak jenis, termasuk penguapan ion vakum, percikan magnetron, epitaksi berkas molekul MBE, deposisi sputtering laser PLD dan sebagainya. Gagasan utama dibagi menjadi penguapan dan sputtering.

Ini sering digunakan untuk perawatan permukaan nanometer di semikonduktor, fotovoltaik, elektronik, optik presisi dan lainnya

Prinsip sistem

Bahan target yang akan dilapisi dalam wadah dibombardir dengan elektron oleh pistol elektron di bawah tekanan tinggi, yang diuapkan dan disimpan pada substrat di bawah vakum tinggi untuk mendapatkan film pelapis.

Konfigurasi sistem

* Pengontrol otomatis: e-control PLC adalah platform perangkat keras inti dari sistem Kontrol.

* Perangkat keras antarmuka manusia-mesin: TPC1503 15-inch industri komputer tablet sentuh, stabil dan dapat diandalkan.

* perangkat lunak antarmuka manusia-mesin: platform pengembangan perangkat lunak konfigurasi NETSCADA, menyediakan kontrol dan pemantauan mesin pelapis vakum.

Evaluasi sistem:

* hingga 99 lapisan per dukungan pembentukan film;

* mundur otomatis, lapisan sisi ganda dapat dicapai;

* mendukung Excle untuk mengimpor bahan target, parameter peralatan, parameter proses, dll .;

* mendukung kontrol kustom dari jumlah titik pixel dari senjata elektron untuk mencapai kontrol pemanasan target;

* untuk bagian pemanasan yang berbeda, mode penguapan yang berbeda diadopsi untuk memastikan suhu seragam bahan cair dan efisiensi bahan cair;

* mulai satu klik, dari awal hingga akhir produksi hanya perlu mengklik mouse, semua jenis proses produksi secara otomatis selesai;

* Skema manajemen data nomor batch, penyimpanan otomatis informasi produksi secara real-time, data produksi tersedia;

* solusi jaringan, menyediakan port jaringan jarak jauh, dengan mudah mewujudkan kendali dan manajemen terpusat multi-sistem jarak jauh;

IKS PVD, sistem pelapisan vakum, kontak dengan kami sekarang, iks.pvd @ foxmail.com