Ultra-high Vacuum Unit Character Dan Mengklasifikasikan
Oct 26, 2018| Unit vakum ultra-tinggi yang beroperasi di atas 10-5pa termasuk pompa difusi, unit vakum ultra-tinggi pompa molekuler dan unit vakum ultra-tinggi bebas minyak. Unit ini memiliki karakteristik sebagai berikut:
Tingkat vakum maksimum pompa utama lebih tinggi dari 10-7 ~ 10-8pa.
(2) dapat bertahan suhu tinggi 200 ~ 450 ℃ baking;
Tekanan parsial gas balik dari pompa utama rendah.
Untuk pompa utama dengan selektivitas tinggi, harus dilengkapi dengan pompa bantu yang cukup besar.
(1) unit vakum ultra-tinggi dari pompa difusi
Vakum tertinggi dari unit vakum ultra-tinggi dengan pompa difusi sebagai pompa utama adalah 10-7 ~ 10-8pa.
Untuk mengurangi pengaruh difusi balik gas dari tahap depan pompa difusi dan difusi balik oli pompa mekanis pada tingkat vakum akhir, pompa difusi dengan kecepatan pemompaan yang lebih rendah dapat digunakan pada tahap depan pompa difusi untuk mengurangi rasio kompresi dan difusi balik. Jika perangkap sublimasi titanium ditambahkan ke inlet dari pompa difusi, tekanan parsial nitrogen dari pompa difusi dapat dikurangi lebih jauh, dan vakum super tinggi 10-11pa dapat diperoleh.
(2) unit vakum ultra-tinggi dari pompa molekuler
Vakum maksimum unit vakum ultra-tinggi, yang terutama menggunakan pompa molekuler, adalah 10-8 pa, yang dicirikan oleh awal yang cepat dan polusi minyak yang rendah.
Kecepatan pemompaan dapat ditingkatkan dengan menambahkan perangkap dingin nitrogen cair dalam unit. Saluran keluar pompa mekanis dilengkapi dengan perangkap air dingin untuk mencegah uap minyak memasuki sistem.
(3) unit vakum ultra-tinggi bebas minyak
Unit vakum yang tidak menggunakan minyak untuk membuat cairan yang berfungsi dan tidak menyegel dengan bahan organik disebut unit vakum super tinggi tanpa minyak. Pompa utama yang umum digunakan termasuk pompa cryogenic, pompa titanium, pompa ion sputtering, dll. Dibandingkan dengan unit vakum minyak, ia memiliki keuntungan sebagai berikut:
Vakum bersih dan tidak ada sumber polusi dapat diperoleh.
Ketika pompa vakum bebas minyak dimulai, pra-pompa dapat diisolasi.
Jika ventilasi berhenti tiba-tiba, sistem tidak akan tercemar;
Ia tidak memiliki minyak, tidak ada suara dan tidak ada getaran, yang meningkatkan lingkungan kerja.
Tingkat vakum terminal tinggi, kecepatan pemompaan tinggi, dan waktu pemompaan pendek.
