Kemajuan Teknologi Deposisi Uap

Dec 22, 2022|

Kemajuan teknologi deposisi uap dapat diringkas sebagai berikut:

(1) Pengembangan peralatan. Misalnya, peralatan evaporasi kontinu berkas elektron besar, berbagai bentuk peralatan sputtering magnetron, pelapisan ion sumber busur baru dan HCD dan peralatan pelapisan ion komposit multi-busur, berbagai peralatan IBAD dan peralatan implantasi ion perendaman plasma (PIⅢI), dll.

(2) Kemajuan proses. Ini terutama diwujudkan dalam peningkatan jenis film dan peningkatan sifat film. Misalnya, berbagai film penghalang termal tahan aus, tahan korosi, tahan suhu tinggi, tahan aus kinerja tinggi, film boron nitrida seperti berlian dan kubik, dan berbagai film komposit keramik, gradien, dan multilayer telah disiapkan. .

(3) Komposisi metode. Teknologi pengendapan uap yang paling canggih adalah kombinasi dari pengendapan uap fisik tunggal dan pengendapan uap kimia. Mereka tidak hanya menggunakan berbagai sumber pemanas baru tetapi juga memanfaatkan sepenuhnya berbagai reaksi kimia, elektromagnetik frekuensi tinggi (pulsa, frekuensi radio, gelombang mikro, dll.), Dan efek plasma untuk mengaktifkan partikel yang tersimpan. Misalnya, penguapan reaktif, sputtering reaktif, sputtering berkas ion, berbagai pengendapan uap kimia tereksitasi plasma, dll., Ada lebih banyak metode komposit dalam peralatan IBAD dan PⅢ. Pengenalan sinar laser tidak hanya dapat melapisi uap tetapi juga komposit dengan cara yang berbeda.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, garis pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email:iks.pvd@foxmail.com


Kirim permintaan