Sistem Drive Dan Sistem Pendinginan Peralatan Lapisan PVD
Mar 31, 2018| Sistem Drive
Sistem drive memungkinkan substrat mengalir dari meletakkan substrat ke dalam perangkat untuk deposisi sputtering, untuk keluar dari perangkat setelah selesai diproses. Sistem penggerak terdiri dari motor penggerak, roda gulir, konverter frekuensi, dan sebagainya. Alasan untuk menambahkan sistem drive adalah:
(1) Pastikan lapisan ketebalan seragam didistribusikan secara luas.
(2) Mudah untuk mewujudkan transmisi otomatis.
Sistem pendingin
Sistem pendingin terutama terdiri dari target sirkulasi pompa molekuler air, ruang, kelompok pompa dan motor penggerak pendingin sirkulasi air. Fungsi utamanya adalah untuk mendinginkan ruang vakum, pompa, drive, power supply, dll. Persyaratan air pendingin adalah:
(1) Suhu: 17 ～ 22 ° C;
(2) Tekanan: 2 ~ 3e0.05Pa;
(3) Partikel magnetik harus dikeluarkan dari air, dan air harus dilunakkan, pH = 6 ~ 8.