Struktur Resistance Vacuum Gauge (Pirani Vacuum Gauge)

Pengukur vakum resistansi, juga dikenal sebagai pengukur Pirani, mencerminkan perubahan tekanan berdasarkan perubahan ketahanan filamen panas. Ini terutama terdiri dari sirkuit pengukur dan pengukuran. Rentang pengukurannya adalah 104 hingga 10-1 Pa.

Struktur pengukur hambatan ditunjukkan pada Gambar 1. Sebuah kawat panas spiral silinder dengan kawat resistansi koefisien suhu tinggi diringkas dalam casing regulator. Kedua ujung kawat panas mengarah keluar tabung pengukur dan menghubungkan garis pengukur. Kerangka pengukur dapat terbuat dari logam atau kaca. Shell logam memiliki kelebihan daya tahan, penghilangan filamen panas yang nyaman, dll. Kerugiannya adalah kinerja penyegelan yang buruk dan harga tinggi. Kerangka kaca memiliki kelebihan kinerja penyegelan yang baik dan harga murah, dan kerugiannya adalah mudah rusak.

Koefisien suhu resistan dan resistivitas dari beberapa kawat resistansi kawat pemanas luka ditunjukkan pada Tabel 4-1, di antaranya tungsten, platinum dan nikel yang umum digunakan. Untuk memastikan stabilitas kerja dari kawat panas, selain membersihkan permukaan kawat panas, kadang-kadang lapisan tipis kaca, kuarsa atau tantalum diterapkan pada permukaan kawat panas untuk menghindari oksidasi atau kontaminasi panas. kawat saat digunakan di bawah tekanan tinggi. Tetapi diyakini bahwa metode ini akan meningkatkan inersia termal.

Logam: Tungsten Platinum Nickel Chromium Iridium Molybdenum Iron Copper Silver

Temperatur Perlawanan

Koefisien dalam 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

(10 ^-3 · ℃ ^-1 )

Resistivitas dalam 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

Tabel 4-1 Koefisien Tahan Suhu dan Resistivitas Beberapa Logam