Sistem Kontrol Aliran dan Gas PECVD

Pasokan gas sistem PECVD hampir selalu dipasok oleh tabung gas, yang ditempatkan di lemari gas dengan banyak alat pengaman, dan dialirkan ke ruang proses PECVD melalui panel kontrol pada lemari gas dan pipa.

Dalam pengendapan, jumlah gas reaksi akan mempengaruhi laju pengendapan dan keseragamannya, sehingga aliran gas perlu dikontrol secara ketat, dan pengukur aliran massa biasanya digunakan untuk mencapai kontrol yang akurat.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, garis pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com