Sistem Deposisi Vakum Otomatis PECVD

Sistem pengendapan terdiri dari catu daya frekuensi radio, sistem pendingin air, dan perangkat pemanas substrat. Ini adalah bagian inti dari PECVD. Fungsi catu daya RF adalah untuk mengionisasi gas reaksi. Sistem pendingin air terutama menyediakan pendinginan untuk pompa mekanis, pompa Roots, pompa kering, pompa molekuler, dll. dari sistem PECVD. Ketika suhu air melebihi suhu yang dibutuhkan badan pompa, itu akan mengirimkan sinyal alarm. Bahan isolasi seperti pipa plastik harus digunakan untuk pipa air pendingin, dan pipa logam tidak boleh digunakan. Fungsi alat pemanas substrat adalah untuk memanaskan sampel ke suhu proses yang dibutuhkan, menghilangkan kotoran seperti uap air pada sampel, dan meningkatkan daya rekat antara film dan sampel.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, garis pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com