Rentang Pengukuran Pengukur Vakum Ionisasi Katoda Panas

Meskipun rentang pengukuran pengukur vakum ionisasi katoda panas dapat mencapai 10-2~10-11mbar, jika tekanannya terlalu tinggi, hubungan antara aliran partikel dan tekanan akan menyimpang dari linier dan cenderung jenuh. Untuk memperluas jangkauan pengukuran, pengukur vakum Pirani biasanya digunakan pada titik awal pompa (jika terjadi tekanan berlebih).

Selain itu, batas bawah pengukuran meteran vakum ionisasi katoda panas biasa adalah sekitar 10-6Urutan besaran Pa: Ketika anoda gerbang dibombardir dengan elektron, sinar-X lembut dihasilkan, dan emisi fotoelektron terjadi ketika ion kolektor menerima sinar ini. Karena foton yang dipancarkan oleh kolektor setara dengan ion yang dikumpulkannya, arus foto latar belakang yang tidak bergantung pada tekanan terbentuk di sirkuit kolektor ion, yang diwakili oleh pembacaan tekanan sekitar 10-6Pa saat diukur. Untuk menghilangkan efek arus foto latar belakang dan memperluas batas pengukuran pengukur vakum ionisasi katoda panas, pengukur vakum ionisasi BA (batas pengukuran dapat mencapai 10-8Pa), pengukur vakum penekan (secara teoritis dapat mencapai {{6} }Pa), pengukur vakum termodulasi (10-10Pa), pengukur vakum terpisah (10-11Pa), dan seterusnya.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com