Film dekoratif pelapisan ion untuk memastikan pertimbangan keseragaman
Dec 23, 2024| Film dekoratif pelapisan ion untuk memastikan pertimbangan keseragaman
Untuk memastikan keseragaman, banyak faktor harus dipertimbangkan dalam kondisi deposisi: pertama, plasma di ruang pelapis harus seragam; Yang kedua adalah pengaruh medan listrik dan medan magnet pada keseragaman plasma. Ketiga, distribusi gas reaksi harus seragam; Keempat, kompensasi gerak benda kerja untuk keseragaman; Kelima, hindari oklusi; Keenam, efek dari laju anti-sputtering dan stres pertumbuhan film; Ketujuh adalah pengaruh selubung plasma. Among them, the plasma sheath effect is closely related to the workpiece geometry, such as the ion aggregation effect in the corner of the two-dimensional right-angle plane sheath, the ion divergence effect in the sheath near the concave corner, the plasma sheath bending at the wedge edge increases the amount of ion deposition and changes the incidence Angle, and the shielding effect in the sheath of small holes and narrow cracks. Batas selubung plasma di lubang buta memiliki efek lensing yang berbeda, dan efek khusus ini perlu dipelajari lebih lanjut.
IKS PVD Company, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi Kami Sekarang, E-Mail: iks.pvd@foxmail.com