Pengetahuan Umum Tentang Pompa Vakum
Mar 13, 2019| Pengetahuan umum tentang pompa vakum
1. Metode mendapatkan ruang hampa
Peralatan yang dapat mengeluarkan gas dari wadah tertutup atau mengurangi jumlah molekul gas dalam wadah disebut peralatan akuisisi vakum atau pompa vakum. Saat ini, berbagai metode telah digunakan dalam teknologi vakum untuk memperoleh dan mengukur tekanan mulai dari 105 Pa hingga 10-13pa, hingga 18 kali lipat. Jelas, sangat sulit untuk memperoleh keadaan gas dalam ruang tekanan rendah yang begitu luas dengan hanya satu jenis pompa vakum.
Dalam teknologi akuisisi vakum, ada dua cara untuk mendapatkan vakum saat ini. Salah satunya adalah mengeluarkan gas langsung dari wadah tertutup melalui gerakan mekanisme tertentu. Yang lain adalah untuk mengadsorpsi atau memadatkan molekul gas pada permukaan suhu rendah dengan metode fisik dan kimia. Ada banyak jenis pompa vakum yang diproduksi oleh kedua metode ini, dan metode klasifikasi berbeda. Namun, metode yang paling umum digunakan adalah untuk mengklasifikasikan pompa vakum sesuai dengan prinsip kerja atau karakteristik strukturalnya. Ini akan dibahas di bagian selanjutnya.
2. Klasifikasi pompa vakum
Menurut prinsip kerja pompa vakum, pompa vakum pada dasarnya dapat dibagi menjadi dua jenis, yaitu pompa transfer gas dan pompa penangkapan gas. Sebagai teknologi aplikasi vakum di bidang produksi dan penelitian ilmiah dengan persyaratan cakupan aplikasi tekanan lebih dan lebih luas, sebagian besar kebutuhan terdiri dari beberapa umum setelah ekstraksi pompa vakum, sistem ekstraksi vakum dapat memenuhi persyaratan produksi dan ilmiah. proses penelitian, jadi pilihlah berbagai jenis pompa vakum dalam kondisi hisap pompa vakum lebih banyak. Demi kenyamanan, perlu untuk mengklasifikasikan pompa ini secara rinci sesuai dengan prinsip kerja atau karakteristik strukturalnya. Dijelaskan sebagai berikut:
(1) Pompa transfer gas
Pompa transfer gas adalah sejenis pompa vakum yang dapat membuat gas terus menerus terhirup dan dibuang, sehingga mencapai tujuan pemompaan. Pada dasarnya ada dua jenis pompa ini:
1) pompa vakum volume variabel
Pompa vakum kapasitansi variabel adalah jenis pompa vakum yang MENGGUNAKAN perubahan berkala volume ruang pompa untuk menyelesaikan proses hisap dan pembuangan. Gas dikompresi sebelum dikeluarkan. Pompa ini dibagi menjadi dua jenis reciprocating dan rotary:
(1) pompa vakum reciprocating: adalah penggunaan pompa rongga piston gerakan reciprocating, inhalasi gas, kompresi dan keluar. Oleh karena itu dikenal juga dengan pompa piston piston.
Pompa vakum putar: adalah penggunaan piston ruang pompa untuk melakukan gerakan rotasi, inhalasi gas, kompresi dan keluar. Pompa vakum rotary memiliki jenis berikut:
pompa vakum segel minyak: itu adalah penggunaan segel minyak antara bagian yang bergerak dari celah, mengurangi ruang berbahaya dari pompa vakum kapasitas variabel rotary. Pompa ini biasanya dilengkapi dengan perangkat ballast udara, juga dikenal sebagai pompa vakum ballast udara. Menurut karakteristik strukturalnya dibagi menjadi lima jenis berikut.
A) pompa vakum baling-baling putar: rotor dengan eksentrisitas tertentu dipasang pada kulit pompa dan kulit pompa pada permukaan permukaan tetap dekat slot rotor dilengkapi dengan dua (atau lebih) baling-baling putar, dapat ketika rotor berputar baling-baling sepanjang celah radial slot geser dan kontak dengan dinding casing pompa selalu, baling-baling putar dengan rotasi rotor, rongga pompa dapat dibagi menjadi beberapa perpindahan variabel.
B) pompa vakum katup geser: katup geser dipasang di luar rotor eksentrik. Rotor berputar untuk menggerakkan katup geser untuk meluncur dan berguling di sepanjang dinding bagian dalam cangkang pompa. Batang katup geser pada bagian atas katup geser dapat meluncur dalam panduan katup geser ayun, dan ruang pompa dibagi menjadi dua volume variabel.
C) pompa vakum stator vane: rotor eksentrik yang dekat dengan permukaan bagian dalam pompa dipasang di shell pompa, dan baling-baling geser radial yang selalu bersentuhan dengan permukaan rotor dipasang pada shell pompa. Ketika rotor berputar, baling-baling geser dapat bergerak ke atas dan ke bawah untuk membagi ruang pompa menjadi dua volume variabel.
D) pompa vakum trochoidal: secara eksentrik dilengkapi dengan rotor trochoidal di ruang pompa, pompa itu berputar di sepanjang dinding bagian dalam ruang pompa dan membagi ruang pompa menjadi dua volume variabel.
E) pompa vakum baling-baling putar multi-ruang: beberapa studio independen baling-baling pompa vakum baling-baling yang digerakkan oleh motor yang sama disusun secara paralel dalam cangkang pompa.
(2) Pompa vakum kering: ini adalah pompa vakum volume variabel tertutup non - minyak (atau cairan).
(3) pompa vakum cincin cair: dengan banyak bilah eksentrik rotor dipasang di shell pompa, ketika berputar, cairan (biasanya air atau minyak) ke dalam cincin cair konsentrat shell pompa, cincin cair dan bilah rotor membentuk beberapa kecil volume perubahan periode volume, juga disebut pompa vakum kapasitas variabel putar.
(4) pompa vakum akar: pompa dilengkapi dengan dua arah berlawanan rotasi sinkron dari bentuk pisau ganda atau rotor berbentuk multi-blade, antara rotor, rotor, dan dinding selubung pompa dipertahankan di antara celah tertentu. Itu milik pompa vakum rotary. Pompa booster mekanis adalah jenis pompa vakum ini.
2) pompa transfer momentum
Pompa mengandalkan bilah berputar kecepatan tinggi atau jet kecepatan tinggi untuk mentransmisikan momentum ke gas atau molekul gas, sehingga gas terus menerus dari inlet pompa ke outlet. Spesifik dapat dibagi menjadi beberapa tipe berikut.
(1) pompa vakum molekuler: itu adalah penggunaan transmisi energi rotor berputar kecepatan tinggi ke molekul gas, sehingga kompresi, buang pompa vakum. Muncul dalam jenis berikut:
Pompa molekul traksi: molekul gas dan gerakan kecepatan tinggi dari tabrakan rotor dan mendapatkan momentum, dikirim ke ekspor, oleh karena itu, adalah semacam pompa transfer momentum.
(2) pompa molekuler turbin: pompa dengan cakram berlekuk atau rotor dengan bilah, itu dalam rotasi cakram stator (atau stator). Kecepatan linier keliling rotor sangat tinggi. Pompa biasanya beroperasi dalam keadaan aliran molekul.
(3) pompa molekuler majemuk: dengan turbin dan traksi tipe dua, seri pompa molekuler kombinasi dari pompa vakum molekul majemuk.
Pompa vakum jet: ini adalah jenis pompa transfer momentum yang mengambil keuntungan dari penurunan tekanan efek Venturi untuk menghasilkan jet berkecepatan tinggi untuk mengangkut gas ke outlet, cocok untuk bekerja dalam aliran viskos dan kondisi aliran transisi. Pompa ini dapat dibagi menjadi yang berikut secara rinci:
Pompa vakum injeksi cair: cair (biasanya air) sebagai media kerja pompa injeksi vakum.
(2) pompa vakum injeksi gas: gas yang tidak terkondensasi sebagai media kerja pompa vakum injeksi.
(3) pompa vakum injeksi uap: untuk uap (air, minyak atau merkuri dan uap lainnya) sebagai media kerja pompa vakum injeksi.
Pompa difusi adalah aliran uap berkecepatan tinggi bertekanan rendah (uap minyak atau merkuri) sebagai media kerja pompa vakum jet. Molekul gas berdifusi ke dalam aliran uap dan dikirim ke outlet. Kerapatan molekul gas selalu sangat rendah dalam aliran jet. Dapat dibagi menjadi:
(1) pompa difusi pemurnian diri: memompa kotoran yang mudah menguap oleh transmisi mekanik khusus ke ekspor dan tidak kembali ke boiler dalam pompa difusi minyak.
(2) pompa difusi tipe fraksinasi: pompa ini memiliki perangkat fraksinasi, sehingga tekanan uap adalah uap cair kerja rendah ke nozzle kerja vakum tinggi, dan tekanan uap uap cair kerja tinggi ke nozzle kerja vakum rendah, itu adalah pompa difusi minyak multi-tahap.
Pompa difusi jet: ini adalah pompa transfer momentum yang terdiri dari nosel satu-tahap atau multi-tahap dengan karakteristik pompa difusi dan nosel satu-tahap atau multi-tahap dengan karakteristik pompa vakum jet secara seri. Pompa penambah oli jenis ini.
Pompa transfer ion: ini adalah pompa transfer momentum yang mentransfer gas terionisasi ke outlet di bawah aksi medan elektromagnetik atau medan listrik.
2. Pompa penangkapan gas
Pompa ini adalah adsorpsi atau kondensasi molekul gas pada permukaan bagian dalam pompa, sehingga mengurangi jumlah molekul gas dalam wadah untuk mencapai tujuan memompa pompa vakum, ada beberapa tipe berikut.
1) pompa adsorpsi
Ini terutama bergantung pada permukaan besar adsorben (seperti bahan berpori) dari adsorpsi fisik untuk memompa jenis pompa vakum kolektor.
2) pompa pengambil
Ini adalah pompa vakum yang digunakan PENGGUNA pengambil untuk menangkap gas dengan kombinasi kimia. Logam atau paduan biasanya dalam bentuk benjolan atau film segar yang disimpan. Pompa sublimasi adalah jenis ini.
3) pompa ion pengambil
Hal ini untuk membuat gas terionisasi melalui aksi medan elektromagnetik atau adsorpsi medan listrik pada permukaan material yang telah dihirup, untuk mencapai tujuan pemompaan gas. Itu datang dalam beberapa bentuk sebagai berikut.
Pompa ion penguapan: pompa vakum di mana gas terionisasi diserap pada bahan isap yang disublimasikan (atau diuapkan) secara terputus-putus atau kontinyu dan ditutup oleh dinding bagian dalam pompa untuk mencapai hisap.
Pompa ion sputtering: pompa adalah adsorpsi gas terionisasi oleh katoda kontinu keluar dari bahan pengambil, untuk mencapai tujuan pompa vakum.
Pompa suhu rendah
Sebuah pompa vakum yang MENGGUNAKAN permukaan bersuhu rendah untuk memerangkap gas
3. Parameter kinerja pompa vakum dan rentang penggunaan
Parameter kinerja pompa vakum
1) tekanan utama pompa vakum
Unit tekanan utama pompa adalah Pa, yang mengacu pada tekanan stabil terendah ketika pompa dilengkapi dengan penutup uji standar di pintu masuk dan beroperasi di bawah kondisi tertentu tanpa memasukkan gas untuk operasi normal.
2) tingkat ekstraksi pompa vakum
Unit laju pemompaan pompa adalah m3 / s atau l / s, yang mengacu pada rasio aliran gas melalui tutup uji dan tekanan kesetimbangan yang diukur pada posisi yang ditentukan dari tutup uji ketika pompa dilengkapi dengan standar. tutup uji dan beroperasi dalam kondisi yang ditentukan. Kecepatan pompa.
3) kapasitas ekstraksi pompa vakum
Unit kapasitas ekstraksi pompa vakum adalah Pa m3 / s atau Pa l / s. Mengacu pada aliran gas saluran masuk pompa.
4) tekanan awal pompa vakum
Unit tekanan awal pompa vakum adalah Pa, yang mengacu pada tekanan ketika pompa dinyalakan tanpa kerusakan dan memiliki efek memompa.
5) tekanan pompa tahap awal
Unit tekanan pompa vakum adalah Pa, mengacu pada tekanan buang kurang dari satu atmosfer tekanan outlet pompa vakum.
6) tekanan maksimum sebelum pompa vakum
Unit pra-tekanan maksimum dari port pompa vakum adalah Pa, yang mengacu pada tekanan lebih dari tekanan awal yang dapat merusak pompa.
7) tekanan kerja maksimum dari pompa vakum
Unit tekanan kerja maksimum pompa vakum adalah Pa, yang mengacu pada tekanan saluran masuk sesuai dengan jumlah maksimum udara yang dipompa. Pada tekanan ini, pompa dapat terus bekerja tanpa kerusakan atau kerusakan.
8) rasio kompresi
Rasio kompresi adalah rasio tekanan outlet pompa dengan tekanan saluran masuk untuk gas yang diberikan.
9) koefisien ho
Rasio kecepatan pemompaan aktual pada area saluran pemompaan dengan kecepatan pemompaan teoretis yang dihitung berdasarkan efusi molekuler.
10) koefisien kecepatan pemompaan
Rasio kecepatan pemompaan pompa yang sebenarnya terhadap kecepatan pemompaan teoretis yang dihitung dengan efusi molekuler pada saluran masuk pompa.
11) tingkat refluks
Unit laju refluks pompa adalah g / cm2.s. Ini menunjukkan ketika pompa bekerja sesuai dengan kondisi formularium, laju aliran massa yang melewati area unit masuk pompa.
12) jumlah uap air yang diijinkan
Unit uap air yang diijinkan adalah kg / jam, yang mengacu pada aliran massa uap air yang dapat dihilangkan oleh pompa ballast udara selama operasi terus menerus dalam kondisi normal.
13) tekanan saluran masuk uap maksimum yang diijinkan
Unit maksimum yang diizinkan dari tekanan saluran masuk uap adalah Pa. Ini mengacu pada tekanan saluran masuk maksimum dari uap air yang dapat dilepas oleh pompa ballast selama operasi terus menerus dalam kondisi lingkungan normal.
4. Lingkup penggunaan pompa vakum
Karena semua jenis pompa vakum memiliki rentang tekanan kerja dan tekanan awal yang berbeda, maka pemilihan pompa vakum harus memenuhi persyaratan ini. Tabel 3-1 menunjukkan kisaran tekanan kerja dan tekanan awal dari berbagai pompa vakum umum untuk referensi.
Tabel 3-1 rentang tekanan kerja dan tekanan awal pompa vakum umum
Jenis pompa vakum | Kisaran tekanan operasi (Pa) | Tekanan awal (Pa) |
Pompa vakum piston Rotary vane v acuum pump Pompa vakum cincin air Pompa vakum akar Turbomolecular pump Pompa jet uap Pompa difusi oli Pompa jet uap minyak Pompa adsorpsi saringan molekuler Pompa ion tergagap Pompa sublimasi titanium Pompa rajutan aluminium zirkonium Pompa suhu rendah | 1 × 10 5 - 1,3 × 10 2 1 × 10 5 - 6,7 × 10 -1 1 × 10 5 - 2,7 × 10 3 1,3 × 10 3 - 1,3 1 .3 - 1.3 × 10 -5 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -7 1,3 × 10 - 1,3 × 10-2 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -3 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 - 1,3 × 10 -11 1,3 - 1,3 × 10 -11
| 1 × 10 5 1 × 10 5 1 × 10 5 1,3 × 10 3 1.3 1 × 10 5 1,3 × 10 <> × 10 5 1 × 10 5 6,7 × 10 -1 1,3 × 10 -2 1,3 × 10 1,3 - 1,3 × 10 -1
|
5. Tugas pompa vakum dalam sistem vakum
Karena kinerja semua jenis pompa vakum dapat memenuhi titik umum menyedot wadah, masih ada perbedaan. Karena itu, sangat penting untuk memperjelas tugas kerja pompa dalam sistem vakum. Fungsi pompa di berbagai bidang kerja dapat diringkas sebagai berikut
1) pompa utama dalam sistem
Yang disebut pompa utama adalah pompa vakum yang secara langsung mengosongkan sistem vakum yang dipompa oleh kapal untuk mendapatkan tingkat vakum yang diperlukan untuk memenuhi persyaratan teknologi.
2) pompa pompa kasar
Pompa kasar mengacu pada sistem vakum dari tekanan atmosfer untuk mengurangi tekanan sistem pompa lain yang dapat mulai bekerja dengan pompa vakum.
3) pompa tahap depan
Pompa tahap depan adalah pompa vakum yang digunakan untuk mempertahankan tekanan tahap depan pompa lain di bawah tekanan maksimum yang diizinkan
4) pompa perawatan
Pemeliharaan pompa mengacu pada ketika pemompaan sistem vakum sangat kecil, tidak dapat secara efektif menggunakan pompa depan utama. Untuk tujuan ini, dalam sistem vakum dengan kecepatan pemompaan yang lebih kecil dari pompa depan tambahan untuk mempertahankan operasi normal pompa utama atau mempertahankan pompa vakum telah dievakuasi, wadah membutuhkan tekanan rendah.
5) pompa vakum kasar atau pompa vakum rendah
Pompa vakum kasar dan rendah mengacu pada pompa vakum yang bekerja di kisaran tekanan vakum rendah atau tekanan vakum kasar setelah mulai dari atmosfer dan mengurangi tekanan wadah yang dipompa.
6) pompa vakum tinggi
Pompa vakum tinggi mengacu pada pompa vakum yang beroperasi dalam kisaran vakum tinggi.
7) pompa vakum ultra tinggi
Pompa vakum sangat tinggi mengacu pada pompa vakum yang beroperasi dalam kisaran vakum sangat tinggi.
8) pompa booster
Pompa booster biasanya mengacu pada kerja antara pompa vakum rendah dan pompa vakum tinggi, untuk meningkatkan sistem pompa dalam kisaran tekanan menengah atau mengurangi laju pemompaan kebutuhan pompa vakum pompa tahap depan.
6. Model pompa vakum dan spesifikasi metode representasi
Menurut standar industri mekanis JB / t7673-95 dari Republik Rakyat Tiongkok, berbagai pompa vakum domestik terdiri dari dua bagian: tipe dasar dan tipe bantu, dengan garis horizontal di antara mereka. Pola ekspresi adalah 123 - 456. Angka 123 menunjukkan model dasar dan 456 menunjukkan model tambahan.
Model pompa vakum domestik biasanya diwakili oleh alfabet fonetik Cina pada tabel 3-2. Jika huruf pinyin di depan kata "2", itu berarti pompa dalam struktur pompa dua tahap.
Beberapa seri pompa vakum memiliki tingkat geometrik untuk tingkat ekstraksinya. Satuannya adalah L / S. Ada 18 grade, 0,2, 0,5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. Seri pompa vakum kadang-kadang dinyatakan dalam istilah dimensi inlet pompa dalam "mm". Semakin banyak jenis pompa, pemilihan harus mengacu pada berbagai produsen spesifikasi produk, sangat penting.
Tabel 3-2 Kode pinyin Cina dan nama pompa vakum yang umum digunakan
Kode | Nama | Kode | Nama |
W | pompa bolak-balik | Z | Pompa jet difusi oli (oil booster pump) |
D | pompa vakum piston putar | S | pompa sublimasi |
X | pompa vakum rotary baling-baling geser | LF | Pompa ion majemuk |
H | · Pompa vakum rotary plunger | GL | Pompa rajutan aluminium zirkonium |
ZJ | Pompa vakum akar (mechanical booster pump) | DZ | · kulkas cryopump
|
YZ | pompa vakum trochoid | Ditjen | Pompa infus kriogenik |
L. | pompa ion menggerutu | JIKA | · pompa adsorpsi saringan molekuler |
XD | Pompa vakum baling-baling multirotary satu tahap | SZ | pompa cincin air |
F | pompa molekuler | PS | pompa jet air |
K | Pompa vakum difusi minyak | P | pompa ejector uap |
IKS PVD, kami memiliki tim profesional untuk merancang tata letak pompa Vakum mesin pelapisan vakum PVD, kontak dengan kami sekarang, iks.pvd @ foxmail.com