Persyaratan Lingkungan Peralatan Pelapis PVD
Jan 20, 2018| Karena mesin pelapis vakum bekerja di bawah kondisi vakum, peralatan perlu memenuhi persyaratan lingkungan dari ruang hampa.
Standar industri yang ditentukan dari mesin pelapis vakum (termasuk spesifikasi peralatan vakum spesifikasi teknis umum, peralatan pelapisan ion vakum , peralatan pelapisan vakum sputtering dan peralatan lapisan penguapan vakum) semua membuat persyaratan lingkungan yang jelas. Hanya memenuhi persyaratan lingkungan peralatan pelapis vakum yang bisa menghasilkan lapisan PVD yang baik.
Persyaratan lingkungan dari vakum umumnya termasuk persyaratan peralatan vakum pada lingkungan laboratorium (atau bengkel) dimana peralatan vakum berada, seperti suhu dan partikel di udara. Serta kebutuhan komponen atau permukaan yang terpapar dalam ruang hampa udara atau dalam keadaan hampa udara. Kedua aspek ini terkait erat. Kualitas lingkungan sekitar secara langsung mempengaruhi penggunaan peralatan vakum secara normal, dan ruang vakum atau komponen dalam ruangan bersih atau tidak berdampak langsung pada kinerja peralatan. Jika udara mengandung banyak uap air dan debu, dalam kasus ruang vakum tidak bersih, tidak sesuai untuk memompa udara yang bisa menimbulkan korosi pada logam, bereaksi dengan minyak hampa atau mengandung partikel debu. Uap air adalah sejenis gas yang dapat dikondensasi, bila sejumlah besar gas kondensasi diekstraksi, kontaminasi minyak pompa akan lebih serius. Akibatnya, vakum utama pompa akan berkurang dan kemudian mengganggu kinerja pemompaan pompa.
Debu di lingkungan industri dibedakan dengan bedak, aerosol dan debu. Bubuk berarti sekumpulan partikel bubuk atau padat. Aerosol adalah sistem material yang mengapung di udara dalam bentuk padatan atau molekul cair. Apakah bahan itu padat atau cair, partikel apapun bisa secara kolektif disebut partikel debu. Standar kebersihan udara ditentukan oleh ukuran partikel debu dan kemudian mengkustomisasi tingkat ruang bersih.
Kondisi normal peralatan pelapis vakum termasuk:
1. Suhu sekitar: 10 ~ 30 ℃
2. Kelembaban relatif ≤ 70%
3. Suhu suling air pendingin tidak lebih tinggi dari 25 ℃
4. Air pendingin adalah air keran kota atau air yang sebanding.
5. Tegangan suplai 380V, tiga fasa adalah 50Hz atau 220V, fasa tunggal adalah 50Hz (ditentukan oleh kebutuhan peralatan listrik yang bekerja), rentang fluktuasi voltase adalah 342V ~ 399V atau 198V ~ 231V, rentang fluktuasi frekuensi adalah 49 ~ 51Hz .
6. Udara tekan yang dikompres, nitrogen cair, tekanan air panas dan dingin, suhu dan konsumsi peralatan harus dinyatakan dalam manual produk.
7. Lingkungan sekitar harus bersih dan rapi agar udara tidak mengandung debu atau gas yang dapat menyebabkan korosi pada permukaan peralatan listrik dan bagian logam lainnya atau menyebabkan konduktivitas listrik bagian logam.
Selain itu, laboratorium atau bengkel tempat peralatan vakum berada harus bersih dengan teras terrazzo atau cat kayu. Untuk mencegah agar gas tidak habis oleh pompa mekanis karena mencemari lingkungan laboratorium, pipa pembuangan (pipa logam dan karet) harus dipasang di port pembuangan pompa untuk melepaskan gas keluar dari ruangan.
