Sistem Evaporasi Sinar Elektron

Berkas elektron dan sistem evaporasi termal. Tahap rotasi planetary atau sederhana dapat mencakup pemanasan untuk suhu lebih besar dari 950 ° C, tergantung pada ukuran substrat dan material. Sumber ion untuk IBAD dan pembersihan awal substrat dapat diintegrasikan ke dalam sistem juga. Sistem penguapan dilengkapi dengan stasiun pemompaan lengkap, katup manual atau elektro-pneumatik, semua alat pengukur vakum, kotak distribusi tenaga listrik, rak elektronik, manifold air dan udara, dan pengaman interlocks. Sistem dapat dioperasikan secara manual atau melalui kontrol komputer. Pemanas dan manipulator substrat dapat dirancang untuk bentuk dan ukuran substrat nonstandar. Aplikasi termasuk penelitian bahan dasar, perangkat SAW, silikon dan Gaas wafer metalisasi, MEMS atau teknologi layar, dan banyak lagi.

Banyak pilihan sistem yang tersedia, termasuk berbagai balok elektron dan sumber panas, pasokan listrik, integrasi sumber ion beam atau magnetron sputter, kemampuan RGA, UHV, kunci beban multi-wafer, dan monitor in-situ.