Pengaruh Proses Manufaktur Lapisan PVD Terhadap Ketebalan Lapisan

Yang paling penting dalam proses pelapisan PVD adalah metode penjepitan, yang akan menentukan ketebalan dan keseragaman lapisan. Dan tidak ada keraguan bahwa ketebalan lapisan mempengaruhi umur layanannya. Namun, bukan lapisan yang lebih tebal, semakin baik harapan hidupnya. Pada benda kerja yang sama, aplikasi yang berbeda membutuhkan ketebalan yang berbeda. Dan benda kerja yang berbeda juga membutuhkan ketebalan yang berbeda. Jadi, kontrol ketebalan lapisan itu penting.

Ketebalan lapisan terutama ditentukan oleh prosedur pelapisan. Prosedur tertentu memiliki kisaran ketebalan lapisan tertentu, dan ketebalan lapisan bervariasi secara substansial dalam rentang ini. Namun, metode penjepitan benda kerja juga sangat mempengaruhi ketebalan lapisan. Di bawah penjepitan yang tidak benar, ketebalan lapisan akan melebihi kisaran yang ditetapkan oleh program.

Dimensi rotasi benda kerja mempengaruhi ketebalan lapisan. Benda kerja harus diputar di ruangan saat sedang dilapisi. Ada tiga cara rotasi benda kerja: rotasi satu dimensi, rotasi dua dimensi dan rotasi tiga dimensi. Untuk prosedur pelapisan yang sama, semakin banyak dimensi rotasi, lapisan tipis. Ketebalan lapisan spin dua dimensi kira-kira 5 kali ketebalan lapisan spin tiga dimensi, dan ketebalan lapisan spin satu dimensi kira-kira 1,5 kali ketebalan lapisan spin dua dimensi. Dengan asumsi ketebalan lapisan dari rotating tiga dimensi adalah 2um, dan kemudian ketebalan lapisan dari benda kerja dua dimensi berputar adalah sekitar 3um, sedangkan ketebalan lapisan spin berputar berdimensi tunggal dapat mencapai 4,5um atau lebih.

Ketika menjepit benda kerja, kerapatan benda kerja juga mempengaruhi ketebalan lapisan. Ketebalan lapisan benda kerja di mana dijepit secara intensif adalah kecil, dan ketebalan lapisan benda kerja di mana dijepit jarang sangat besar.

Gambar di atas menunjukkan distribusi ketebalan lapisan pada satu gigi hob. Gambar di bawah ini menunjukkan distribusi ketebalan lapisan pada posisi yang berbeda dari bor.

Dengan demikian dapat dilihat bahwa ketebalan bagian-bagian yang berbeda dari alat ini sangat dipengaruhi oleh penjepitan, jadi kita harus menentukan metode penjepitan berdasarkan pengalaman.