Pengukur Vakum Ionisasi Katoda Dingin

Pengukur vakum ionisasi katoda dingin

Pengukur ionisasi katoda dingin (sering disebut sebagai pengukur Penning) sama dengan pengukur ionisasi katoda panas, yang juga terdiri dari dua bagian pengukur dan garis pengukuran, tetapi menggunakan katoda dingin, bukan katoda panas. sebagai sumber ion pengukur ionisasi. Elektron dalam pengukur vakum ionisasi katoda dingin bekerja dengan mempertahankan pelepasan di bawah aksi medan elektromagnetik paralel atau ortogonal.

Rentang pengukuran pengukur vakum ionisasi katoda dingin dapat mencapai 10-2~10-9mbar. Pengukur vakum memiliki struktur yang sederhana dan mudah diservis, dan meskipun pembacaannya bergantung pada jenis gas, pengukur ini dapat memberikan faktor koreksi. Namun, ketidakpastian pengukuran pengukur vakum ionisasi katoda dingin adalah antara 30% dan 50%, dan cenderung mulai mengeluarkan daya dalam kisaran 10-2 hingga 10-5.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com