Penerapan Teknologi Magnetron Sputtering Pada Lapisan (Cr,Ti,Al)N
Aug 21, 2024| Penerapan teknologi sputtering magnetron pada pelapis (Cr,Ti,Al)N
Lapisan keras nitrida logam transisi banyak digunakan pada alat pemotong, cetakan presisi, dan komponen mekanis. Dengan kemajuan teknologi pemotongan dan bertambahnya bahan yang sulit diproses, pelapis keras telah dikembangkan dari pelapis biner tradisional menjadi pelapis tiga elemen dan empat elemen. Pelapis kuaterner (Cr,Ti,Al) N telah menarik banyak perhatian karena sifat komprehensifnya yang sangat baik. Berdasarkan prinsip dasar dan karakteristik teknis sputtering magnetron, makalah ini memperkenalkan teknologi sputtering magnetron yang umum untuk pembuatan lapisan (Cr,Ti,Al) N, menganalisis pengaruh penggunaan lapisan pengendapan target unsur dan target paduan serta kelebihan dan kekurangannya masing-masing. , dan mempelajari pengaruh parameter proses sputtering magnetron terhadap sifat mekanik lapisan (Cr,Ti,Al) N. Terakhir, pengaruh pelapisan gradien (Cr,Ti,Al) N dan metode preparasinya dibahas.
Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com