Meter Arus Massa
D07-7KM Meteran Aliran Massa Pendahuluan Meteran aliran massa (MFC) terdiri dari tiga perangkat dasar: sensor aliran, bypass aliran splitter dan papan sirkuit tercetak, secara akurat mengukur laju alir massa yang menekan volume gas berfluktuasi karena perubahan suhu. MFC banyak diterapkan di sawah ...
- perkenalan produk
pengantar
Meteran arus massa (MFC) terdiri dari tiga perangkat dasar: sensor aliran, bypass aliran-splitter dan papan sirkuit cetak, secara akurat mengukur laju alir massa yang menekan volume gas berfluktuasi karena perubahan suhu. MFC secara luas diterapkan di bidang fabrikasi semikonduktor dan IC, sains bahan khusus, industri kimia, industri petrolik, industri farmasi, perlindungan lingkungan, penelitian sistem vakum, dll.
Aplikasi Khas
Aplikasi khas MFC meliputi peralatan proses mikroelektronika seperti difusi, oksidasi, epitaksi, CVD, plasma, etsa, sputtering, implantasi ion dan bidang lainnya seperti peralatan pengendali vakum, peleburan serat optik, peralatan reaksi mikro, sistem pencampuran & pencocokan gas. , sistem kontrol aliran kapiler, kromatografi gas dan instrumen analisis lainnya.
MFC D07-7KM memiliki kelebihan presisi tinggi, umur pemakaian yang panjang, pengulangan yang sangat baik, respons cepat, soft start, keandalan yang baik, jangkauan tekanan operasi yang lebar (operasi yang baik dalam situasi tekanan tinggi atau vakum), pengoperasian mudah dan mudah, dll. Ini bisa dipasang dimanapun dibutuhkan dan terhubung dengan komputer untuk mewujudkan kontrol otomatis.
Spesifikasi
Rentang Arus | (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Ketepatan | ± 1,5% FS |
Linearitas | ± 1% FS |
Repeatability | ± 0,2% FS |
Waktu merespon | ≤4 dtk |
Koefisien temperatur | Nol: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Span: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Tekanan Maks | 3MPa |
Suhu operasi | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Bahan Sealing | Viton, Neoprene |
Sinyal Setting / Output | 0V ~ + 5.00V (Input Impedansi> 100K, Output Current≤3ma) |
Sumber Daya listrik | + 15V 50mA -15V 50mA |
Sambungan Listrik | D sub 15 pin Female |
Tekanan Diferensial | <0,01> |
Tingkat kebocoran | 1 × 10-8atm • cc / detik Dia (1 × 10-9 Pa • m3 / sec Dia) |
Standar Bersama | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (dalam) × 1 Selang Coupler, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (dalam) × 1 Selang Coupler |
Media | Semua gas |
Emi | CE |
Berat | 0,92kg |
Dimensi Instalasi
