Apakah persyaratan teknis dan struktural untuk penguapan vakum lapisan mesin?
Jan 29, 2019| Apakah persyaratan teknis dan struktural untuk penguapan vakum lapisan mesin?
Teknologi IKS PVD, kontak dengan kami sekarang, iks.pvd@foxmail.com
I. struktur persyaratan
1, struktur peralatan harus menjadi wajar tata letak, bentuk yang indah, mudah untuk beroperasi, mudah untuk mempertahankan.
2. struktur dan ukuran segel statis dan dinamis dalam peralatan harus sesuai dengan ketentuan 6070 GB/T dan JB T 1090 ~ 1092.
3. meteran vakum dapat diinstal pada rendah dan tinggi vakum pipa dan chamber lapisan untuk mengukur tekanan dari masing-masing bagian secara terpisah.
4. jika unit vakum peralatan didominasi oleh pompa difusi, baffle atau dingin juga harus diinstal di inlet pompa difusi.
5, lapisan kamar harus memiliki jendela pengamatan, untuk proses pelapisan radiasi peralatan, jendela pengamatan harus dilengkapi dengan anti-ray lensa.
6, dengan benda kerja Wadjan, tidak harus menjadi mengukur suhu elektroda atau alat pengukur suhu.
7, kecepatan rotasi dari frame benda memutar mekanisme harus memenuhi persyaratan desain produk.
8. peralatan dilengkapi dengan ion membombardir perangkat atau berbagai berkas ion energi rendah sumber perangkat akan mampu bekerja normal dan stabil selama lebih dari 30 menit dalam parameter yang ditetapkan dalam persyaratan desain produk.
9. pemanas dengan kawat tungsten sebagai sumber panas penguapan harus mampu membuat penguapan bahan penguapan normal, dan dalam proses penguapan, geometri pemanas seharusnya tidak mempengaruhi penguapan normal.
10. sumber penguapan peralatan harus stabil dan mudah untuk menyesuaikan dan kontrol. Persyaratan teknis untuk berbagai sumber penguapan (seperti perlawanan penguapan sumber, sumber-sumber penguapan sinar elektron, ion balok penguapan sumber, laser penguapan sumber, sumber-sumber induktif penguapan, dll) akan ditentukan dalam sesuai dengan standar produk yang relevan.
11. Jika peralatan ini mengadopsi tegangan rendah dan sumber penguapan resistensi tinggi saat ini, setiap penguapan sumber pemanas akan bekerja biasanya di bawah keadaan tegangan 4V ~ 20V dan arus 50A ~ 180A.
II. manufaktur persyaratan
1. Mesin kualitas, pengelasan kualitas dan perakitan kualitas bagian dan komponen peralatan harus mematuhi ketentuan-ketentuan dalam dokumen teknis produsen.
2. kekasaran Ra nilai indoor permukaan peralatan coating dan penyegelan permukaan harus tidak lebih dari 1.6um, dan semua permukaan dalam keadaan vakum akan dibersihkan secara efektif dan dikeringkan dengan vakum. Semua bagian yang berputar, mengangkat mekanisme dan tindakan lain harus fleksibel, tidak terjebak, stagnasi, fenomena suara yang longgar, gemetar dan tidak normal, dll.
3. bahan bagian-bagian utama dan komponen peralatan harus sesuai dengan standar materi yang relevan.
4. kualitas perangkat listrik pendukung akan mematuhi produsen teknis dokumen, dan memastikan keselamatan dan keandalan dari peralatan dalam operasi dan operasi.
5. kualitas penampilan peralatan akan bebas dari kebutuhan non-fungsional seperti sudut tajam, tepi, tonjolan, dan permukaan kasar. Tepi permukaan bersama bagian harus rapi dan bahkan tanpa jelas dislokasi. Bagian logam harus padat coating, tidak jatuh dan karat dan fenomena lainnya, Semua bagian yang kuat harus menjadi lapisan karat. Permukaan lapisan peralatan harus menjadi terang dan bersih, indah, perusahaan, ada penumpahan, mengupas dan fenomena lainnya.
6. produk-produk tambahan yang dibeli dari peralatan yang akan sesuai dengan standar produk terkait dan akan memiliki sertifikat kualitas. Bantu produk buatan sendiri dalam peralatan hanya dapat digunakan setelah melewati pemeriksaan oleh Departemen inspeksi produsen.
7. berbagai sumber penguapan, bantu ion sumber dan ion pemboman, benda rotasi, benda baking, benda bias, film ketebalan pemantauan dan perangkat lain dalam peralatan. Item - oleh - item debugging dan debugging bersama yang harus dilakukan. Ketika benda kerja dipanaskan ke suhu dinilai, suhu permukaan kolam vakum tidak akan lebih tinggi dari 45 derajat, dan bahagian yang bergerak peralatan akan bekerja secara normal.