Apa lima langkah reaksi CVD
Jul 20, 2020| Apa lima langkah reaksi CVD?
(1) Pra-reaktan dari berbagai komponen dalam fase gas berasal dari gas utama dan mentransfer permukaan substrat dengan mekanisme difusi. Idealnya, konsentrasi prekursor pada substrat adalah nol, yang berarti bahwa substrat bereaksi segera, yang tidak terjadi.
(2) Pra-reaktan diadsorpsi pada substrat, dan pra-reaktan masih diperbolehkan untuk melakukan gerakan permukaan lateral tingkat terbatas pada substrat.
(3) Prekursor mengalami reaksi kimia pada substrat untuk menghasilkan molekul kimia dalam sedimen, dan kemudian, setelah akumulasi, nukleasi, migrasi, pertumbuhan dan langkah-langkah lainnya, membran kontinu akhirnya digabungkan.
(4) Menyerap kelebihan prekursor dan produk gas tidak berinti.
(5) Gas teradsorpsi ditransmisikan ke fase gas utama dengan mekanisme difusi, dan dikeluarkan setelah transmisi.
Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, alat pelapis mesin, pelapisan optik mahcine, garis vakum coting PVD.Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com