Video mendekripsi prinsip kerja pompa molekuler

Video mendekripsi prinsip kerja pompa molekuler

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Bagaimana cara kerja pompa molekuler?

prinsip bekerja:

Mekanisme pompa dari pompa molekuler berbeda dari pompa mekanik, yang bergantung pada perubahan volume ruang pompa untuk mengekstraksi udara.

Pompa molekuler digerakkan oleh motor untuk berputar dengan kecepatan tinggi. Di wilayah aliran molekul, molekul gas bertabrakan dengan permukaan pisau berkecepatan tinggi, dan momentum ditransfer ke molekul gas, sehingga beberapa molekul gas bergerak ke arah permukaan tubuh yang kaku dan dikeluarkan dari pompa. , untuk mencapai tujuan ekstraksi udara. Biasanya dengan gerakan kecepatan tinggi dari permukaan tubuh yang kaku untuk membawa molekul gas, dan membuatnya bergerak ke arah tertentu dari fenomena yang dikenal sebagai fenomena traksi molekuler, menggunakan fenomena ini terbuat dari pompa vakum yang dikenal sebagai traction molecular pump (gad pump). Keuntungan dari pompa molekular traksi adalah bahwa waktu mulai pendek, dalam keadaan aliran molekul memiliki rasio kompresi yang tinggi, dapat menghilangkan semua jenis gas dan uap, terutama cocok untuk ekstraksi gas yang lebih berat. Namun, karena kecepatan pemompaan pompa molekuler traksi kecil, celah segel terlalu kecil, keandalan kerja buruk, kegagalan mekanis mudah, dan kesulitan pembuatan, pada kenyataannya, jarang digunakan. Kemudian, pompa molekular traksi ditingkatkan dan pompa molekuler turbo muncul.

Pompa turbo-molekul terdiri dari beberapa kelompok bilah rotor bolak-balik dan bilah rotor tetap, dan ada banyak bilah miring pada sudut tertentu pada setiap bilah, seperti yang ditunjukkan pada Gambar. 1. Pompa molekuler turbo yang sebenarnya terdiri dari kaskade multi-tahap, yaitu, blade penggerak, blade tetap, dan blade bergerak disusun secara bergantian. Bilah yang bergerak bertindak seperti bilah kipas listrik ketika mereka berputar, memompa gas dari satu sisi ke sisi lainnya. Meningkatkan kecepatan pompa molekuler bermanfaat dalam meningkatkan kecepatan pompa pompa molekuler. Karena batas kecepatan sudu, jika molekul gas bergerak lebih cepat, lebih sulit memompa kevakuman.

Dapat dilihat bahwa pompa molekuler turbo juga merupakan sejenis pompa vakum mekanis. Kombinasi bilah rotor turbin multi-tahap berputar kecepatan tinggi dan bilah statis digunakan untuk ekstraksi udara, yang menghasilkan rasio kompresi tinggi untuk gas yang diekstraksi di daerah aliran molekul, sehingga untuk mendapatkan kinerja vakum yang diperlukan. Vakum utama pompa turbomolecular lebih tinggi dari pompa difusi, hingga 10 ^ -8pa. Dalam operasi normal, diperlukan tingkat vakum tertentu pada tahap depan, yang sedikit bervariasi tergantung pada pompa, umumnya berkisar antara 1 hingga 200 Pa. Pompa mekanis dapat digunakan sebagai pompa panggung depan. Unit vakum tinggi terdiri dari pompa molekuler dan pompa mekanik. Karena kecepatan tinggi pompa molekuler turbo, biasanya didorong oleh jika motor, dan jika frekuensi catu daya antara 300-400 hz. Pompa turbomolecular biasanya berpendingin air.

Pompa molekuler majemuk adalah kombinasi seri dari pompa molekuler turbo dan pompa traksi molekuler, yang menggabungkan keunggulan dari dua jenis pompa menjadi satu, dan dapat berada dalam kisaran tekanan yang luas 10 ^ -6-1pa, dengan kecepatan pompa yang lebih besar dan rasio kompresi yang lebih tinggi, yang sangat meningkatkan tekanan keluar pompa.

  kondisi operasi :

(1) kecepatan rotor mencapai 20000r / mnt, sehingga waktu mulai pompa molekuler relatif lama.
(2) gas dalam keadaan aliran molekuler, sehingga perlu dilengkapi dengan pompa tahap depan. Umumnya, pompa baling-baling putar digunakan sebagai pompa tahap depan

Fitur pompa molekuler:

Pompa molekul pelumasan oli: jumlah oli pelumas kecil, dan di bagian vakum dari tahap sebelumnya , polusi kamar vakum kecil.
Pompa molekuler pelumas gemuk: jumlah pelumasnya sangat kecil, pompa kering pra-tahap bisa mendapatkan hampa udara yang bersih hampir tanpa minyak.
Pompa molekuler suspensi penuh magnetik: tidak perlu pelumasan, dapat digunakan dengan pompa kering, lingkungan vakum bersih tanpa minyak.

Aplikasi umum lainnya:

1. Analisis (spektrometri massa, mikroskop elektron, dll.)
2. Semikonduktor (komponen elektronik, sirkuit terpadu, sel surya fleksibel, dll.)
3. Optik / kaca (perlindungan termal, anti-refleksi, refleksi, filter optik)
4. Pelapisan (perlindungan permukaan, cat dekoratif, tampilan, layar)
5. Vakum metalurgi (tungku vakum, mematri vakum, sintering vakum, paduan vakum,)
6. Deteksi kebocoran (sistem vakum, tangki bahan bakar kendaraan, airbag)
7. Eksperimen penelitian (pencitraan resonansi magnetik medis, fisika partikel nuklir, penelitian fusi, aplikasi laser dan banyak lagi)
8. Industri produksi lampu dan industri terkait

IKS PVD, mesin pelapis menggunakan pompa molekul turbo levitasi magnetik. kontak dengan kami sekarang, untuk mendapatkan rincian lebih lanjut tentang mesin pelapis vakum PVD, iks.pvd @ foxmail.com