Sistem vakum pompa turbo-molekul dalam rangkaian pompa mekanis

Sistem vakum pompa turbo-molekul dalam rangkaian pompa mekanis

Gambar 5-14 menunjukkan sistem. Sistem ini dapat memperoleh vakum 10-6Pa tanpa dipanggang, dan derajat vakum setelah dipanggang dapat mencapai 10-8Pa. Karakteristik sistem ini relatif bersih, dan dapat membentuk sistem vakum ultra-tinggi bebas minyak.

Gambar 5-14 Pompa turbomolekul sistem vakum ultra-tinggi: 1- ruang vakum 2- Pengukur vakum termokopel 3-Pengukur vakum BA 4- Katup vakum ultra-tinggi {{8 }} Pompa turbomolekuler 6- pompa depan 7- Katup solenoid 8- pompa mekanis

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com