Sistem vakum ultra-tinggi

Sistem vakum ultra-tinggi

Sistem perangkap dingin seri pompa mekanis seri pompa difusi
Gambar 5-13 menunjukkan sistem vakum, pompa difusi seri dua perangkap dingin nitrogen cair, dan ruang vakum serta perangkap dingin 6 dapat menahan pemanggangan 400 ~ 450 derajat. Pada suhu ini, gas teradsorpsi pada dinding ruang vakum dan dinding cold trap, serta minyak pompa yang terkondensasi dapat dihilangkan. Sistem umumnya dapat memperoleh batas vakum sebesar 1,33×10-7Pa.

▲ Gambar 5-13 Pompa difusi minyak sistem vakum ultra-tinggi: 1- Ruang vakum 2- Pengukur vakum termokopel 3-Pengukur vakum BA 4- Katup pembuangan {{7} } Katup vakum ultra-tinggi 6,7- perangkap dingin 8- pengukur vakum ionisasi 9- Pompa difusi 10- katup pipa depan 11- perangkap depan 12- Katup solenoid 13- Pompa mekanis 14- katup pipa vakum ultra-tinggi 15- alat pemanggang

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com