Sistem vakum ultra-tinggi bebas minyak dari pompa ion sputtering

Aug 28, 2021|

Sistem vakum ultra-tinggi bebas minyak dari pompa ion sputtering

Pompa ion sputtering adalah pompa utama, dan dua pompa saringan molekuler digunakan sebagai pompa pra-pemompaan. Satu pompa saringan molekuler digunakan untuk menghilangkan gas di bawah tekanan atmosfer di ruang vakum dan pompa ion sputtering, dan yang lainnya digunakan untuk menghilangkan gas yang dilepaskan saat pompa pemanggangan dan ion dimulai.

sistem pompa ion sputtering

1.Ruang vakum 2.Ba pengukur vakum3. katup vakum ultra-tinggi 4. katup gerbang vakum ultra tinggi 5. pompa ion sputtering 6. katup vakum tinggi 7. pompa saringan molekul 8.Pengukur vakum termokopel


Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia.Hubungi kami sekarang, E-mail:iks.pvd@foxmail.com

Kirim permintaan