Kekerasan film DLC

Kekerasan film DLC yang dibuat dengan metode busur katoda filter magnetik (FVCA) mirip dengan film berlian. Kekerasan film DLC yang dibuat dengan metode busur katoda vakum (VCAD) berada di atas HV5000. Kekerasan film DLC yang dibuat dengan magnetron sputtering umumnya lebih rendah dari HV2000. Selain itu proses deposisi dan doping juga mempengaruhi kekerasan film DLC. Bias, tekanan, dan atmosfer yang tepat dapat meningkatkan kekerasan film DLC ke tingkat yang berbeda-beda. Sebagian besar eksperimen menunjukkan bahwa doping dapat mengurangi kekerasan film DLC hingga tingkat yang berbeda-beda, namun beberapa orang berpendapat bahwa penambahan Si dapat meningkatkan kekerasan film DLC. Film DLC umumnya memiliki tekanan internal yang besar. Tekanan internal tidak hanya berkaitan dengan struktur dan komponen film DLC tetapi juga mempunyai hubungan yang erat dengan proses pembentukan film. Misalnya, dalam film H-DLC, tekanan internal memiliki hubungan yang erat dengan konten H. Sambil mempertahankan kekerasan film DLC yang tinggi, memasukkan N, Si, dan beberapa elemen logam dapat mengurangi tekanan internal. Tekanan internal sangat mempengaruhi sifat ikatan film DLC dan substrat. Ketika film DLC diendapkan langsung pada substrat, kekuatan pengikatan film tersebut umumnya buruk. Semakin tipis film DLC maka semakin baik pula daya ikat antara film dengan substrat. Selain itu, daya rekat film DLC dapat ditingkatkan dengan menambahkan lapisan transisi antara film DLC dan substrat. Jika Cr digunakan sebagai lapisan transisi, ikatan antara membran dan substrat meningkat secara signifikan. Pasangan basement lapisan transisi berbeda-beda.

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com