Masalah utama dari sistem vakum pompa difusi minyak

Masalah utama dari sistem vakum pompa difusi minyak

Sumber polutan dari sistem vakum pompa difusi minyak:
(1) aliran balik uap minyak di pompa difusi. Ini adalah sumber polusi yang paling signifikan.
(2) Bagian-bagian dalam sistem harus dipegang oleh tangan dengan minyak selama perakitan. Gunakan sarung tangan berminyak karena molekul organik yang lengket dapat mencemari sistem.
(3) aliran balik oli di pompa mekanis dari segel oli tahap sebelumnya. Masalah ini juga sangat serius, ketika tekanan masuk lebih tinggi, pada tekanan zona transisi (1 ~ 10-1Pa), uap oli pompa mekanis dapat langsung masuk ke pompa difusi, langsung mencemari sistem. Sebagian besar polusi proses vakum berasal dari pengembalian pompa mekanis. Ketika pompa mekanis dihentikan, jika atmosfer tidak dimasukkan ke dalam pompa tepat waktu, oli pompa mekanis dapat langsung dikembalikan ke panci oli pompa difusi. Ketika pompa difusi dimulai, polusi sistem lebih serius.
(4) polusi yang disebabkan oleh pelepasan bahan segel di sistem pembuangan. Secara khusus, cincin penyegel karet buatan, minyak penyegel, minyak pelumas, dll., juga menyebabkan polusi serius.
(5) Ketika pompa dihentikan dan atmosfer dilepaskan, bagian vakum terjebak dengan uap air dan jelaga di udara, menyebabkan polusi pada sistem vakum

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email:{}