Fitur Pengukuran Vakum

1. Lebar rentang tekanan pengukuran: 10 ⁵ sampai 10 ^-14 Pa.

2. Kebanyakan alat pengukur vakum membuat pengukuran tidak langsung. Ketika tekanan adalah 10 ⁵ hingga 10 Pa, gaya per satuan luas dapat diukur secara langsung. Namun, sebagian besar tekanan vakum perlu diukur lebih kecil daripada yang dijelaskan di atas dan tidak dapat diukur secara langsung. Pengukuran tidak langsung harus dilakukan dengan menggunakan karakteristik tertentu (seperti konduksi panas, viskositas, dan ionisasi) gas pada tekanan rendah.

3. Teknologi pengukuran kuantitas non-listrik diadopsi sebagian besar. Karena teknologi pengukuran kuantitas non-listrik memiliki kelebihan sensitivitas tinggi, respon cepat, pengukuran jarak jauh dan otomatis, dll., Kebanyakan alat pengukur vakum menggunakan metode ini. Pengukur vakum elektronik terdiri dari dua bagian, kontrol pengukur vakum dan sirkuit pengukuran elektronik (unit kontrol dan indikasi). Pengukur adalah elemen sensitif. Ini menggunakan karakteristik tertentu dari gas di bawah tekanan rendah untuk mengubah tekanan gas non-listrik menjadi sinyal listrik. Rangkaian pengukuran kemudian menguatkan dan menampilkan sinyal listrik output. Bila perlu, sinyal output akan dikirim ke perekam otomatis dan peralatan kontrol otomatis untuk mencapai otomatisasi peralatan vakum. Kondisi yang diperlukan untuk mengatur konversi tekanan non-listrik menjadi listrik disediakan oleh unit kontrol dari rangkaian pengukuran.

4. Pembacaan alat ukur vakum parsial terkait dengan jenis dan komposisi gas. Oleh karena itu, perhatian khusus harus diberikan pada jenis dan komposisi gas selama pengukuran, jika tidak maka akan menyebabkan kesalahan besar.

5. Akurasi pengukuran tidak tinggi. Pengukuran tekanan tidak langsung sering membutuhkan energi tambahan untuk membantu. Energi tambahan mungkin energi panas, energi listrik, energi mekanik, dan energi radioaktif. Dengan cara ini, kesalahan pengukuran secara tidak terelakkan diperkenalkan bersamaan dengan pengenalan energi tambahan. Oleh karena itu, alat pengukur vakum kurang akurat daripada alat pengukur fisik lainnya. Sebagai contoh, jika ketidakpastian meter referensi pengukuran vakum dan instrumen standar adalah (2 ~ 10) × 10-2, kesalahan pengukuran instrumen kerja berada dalam ± 20 × 10 ^-2 .