Faktor-faktor penyebab tidak merata Film tipis dengan Magnetron tergagap-gagap vakum Mesin Coating

Faktor lapisan film yang tidak merata menyebabkan olehMesin vacuum coating sputtering magnetronmencakup tiga aspek: vakum negara, Medan magnet dan argon gas.

Prinsip kerjaMesin vacuum coating sputtering magnetronadalah bahwa di bawah Serikat vakum, elektron Medan magnet ortogonal untuk membombardir argon dan membentuk ion argon, kemudian pemboman target materi, sehingga target ion dapat disimpan pada permukaan atas karyanya bentuk tipis film.

Kebutuhan negara vakum sistem pompa untuk mengontrol, dan ventilasi masing-masing harus secara bersamaan digerakkan dan konsisten. Jika pemompaan tidak seragam, tekanan di dalam tabung hampa udara akan tidak merata. Tekanan memiliki pengaruh tertentu pada gerakan ion. Selain itu, saat memompa harus dikontrol. Terlalu pendek akan menyebabkan vakum tidak mencukupi, tapi itu terlalu lama dan pemborosan sumber daya.

Bidang magnetik bekerja orthogonally, tetapi tidak mungkin untuk membuat 100% intensitas medan magnet seragam. Mana Medan magnet umum kuat, ketebalan film besar, tetapi itu kecil sebaliknya, jadi akan menyebabkan inkonsistensi ketebalan film. Namun, dalam proses produksi, ketidakseimbangan film karena bebas-keseragaman Medan magnet ini tidak umum.

Argon gas keseragaman juga mempengaruhi keseragaman film, dan prinsip ini mirip dengan vakum. Karena argon memasuki hampa, tekanan di dalam kamar akan berubah. Tekanan seragam dapat mengontrol keseragaman ketebalan film magnetron sputtering vakum lapisan mesin.

Selama lebih dari satu dekade,IKSmengkhususkan diri dalam semua jenis vakum lapisan aplikasi peralatan manufaktur, didedikasikan untuk penelitian dan pengembangan dan produksi vakum lapisan mesin, dengan teknologi terbaru, terus-menerus menghasilkan memenuhi kebutuhan pasar lapisan vakum peralatan , menyediakan pelanggan dengan solusi teknologi disesuaikan dan peralatan.