Diffusion pompa unit vakum ultra-tinggi

Diffusion pompa unit vakum ultra-tinggi
Tingkat vakum utama dari unit vakum ultra-tinggi dengan pompa difusi sebagai pompa utama adalah 10-7 ~ 10-8Pa.
Untuk mengurangi pengaruh backdiffusion gas dari tahap depan pompa difusi dan backdiffusion memblokir minyak pompa mekanis pada tingkat vakum akhir, pompa difusi dengan kecepatan pemompaan rendah dapat dipasang di tahap depan pompa difusi untuk mengurangi rasio kompresi dan difusi belakang. Jika sumur sublimasi titanium ditambahkan di atas saluran masuk pompa difusi, tekanan parsial nitrogen dari pompa difusi dapat lebih berkurang dan vakum ultra-tinggi 10-11Pa dapat diperoleh.

Perusahaan PVD IKS, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis optik, garis pelapis vakum PVD. Hubungi kami sekarang, E-mail: iks.pvd@foxmail.com