Pompa difusi
Apr 09, 2020| Pompa difusi
Seperti kita ketahui, pompa difusi oli adalah sejenis pompa yang sering digunakan dalam sistem vakum tinggi. Jadi, pertanyaannya adalah, apa metodenya? Metode adalah sebagai berikut: pertama, pilihan kinerja yang baik dari minyak pompa difusi pada tekanan batas pompa difusi minyak memiliki dampak besar. Jika tidak. 3 minyak pompa difusi digunakan, tekanan pamungkas hanya bisa mencapai 10-5pa; Ketika 275 minyak silikon digunakan, tekanan ultimat dapat mencapai 10-7pa, dan tekanan ultimat dapat ditingkatkan dengan 2 kali lipat. Kedua, tekanan parsial dari gas yang dipompa juga berubah dengan perbedaan minyak pompa, yang merupakan pengaruh komposisi minyak pompa. Oleh karena itu, pompa difusi oli dengan kinerja yang baik harus dipilih untuk mendapatkan vakum sangat tinggi. Karena minyak pompa difusi sangat penting, bagaimana seharusnya kita memilih? Persyaratan oli pompa difusi adalah: oli pompa relatif berat molekul menjadi besar, tekanan uap suhu kamar menjadi rendah, stabilitas termal dan ketahanan oksidasi menjadi baik, titik beku dan viskositas suhu rendah menjadi rendah, tidak beracun, ketahanan korosi, biaya menjadi rendah. Pompa difusi minyak vakum tinggi umumnya MENGGUNAKAN no. 3 minyak pompa difusi, vakum ultra-tinggi MENGGUNAKAN minyak silikon, membutuhkan sistem vakum ultra-tinggi tanpa hidrokarbon, pompa difusi MENGGUNAKAN minyak fluorin. Kedua, penggunaan pompa difusi minyak teknologi baking yang wajar untuk mendapatkan sistem vakum ultra-tinggi harus dilakukan baking suhu tinggi, tujuannya adalah untuk mengurangi tingkat bahan. Bahan-bahan di atmosfer dapat menyerap dan menyerap beberapa gas, ketika dalam ruang hampa, itu akan menghasilkan desorpsi, gas dilepaskan secara perlahan, untuk mempercepat desorpsi, menggunakan baking.
Membakar? Kedengarannya sederhana, bukan? Tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak, tidak. Prinsipnya adalah suhu yang lebih tinggi lebih baik, dapat mempercepat udara, tetapi juga mempertimbangkan apakah material dapat menahan suhu tinggi. Panggang pada suhu yang tepat. Biasanya bahan logam, seperti stainless steel, suhu pembakaran 250 ℃ - 450C; Suhu pembakaran bahan bukan logam adalah 80 ℃ - 100 ℃ . Waktu memanggang di atas 4j - 8j. Waktu memanggang vakum sangat tinggi lebih dari 24 jam. Kinerja sistem pompa difusi minyak logam yang khas (setelah dipanggang) dan komponen gas residu dalam sistem vakum ultra-tinggi pompa difusi minyak logam. Ketiga, menambahkan alat perangkap dingin untuk mencegah aliran balik oli pompa dan mentransfer oli pompa melalui aliran masuk pompa ke fenomena wadah yang dipompa disebut aliran balik. Fenomena molekul minyak yang bergerak di sepanjang dinding ke wadah yang dipompa disebut migrasi terbalik. Baik arus balik maupun migrasi balik memengaruhi tekanan utama sistem vakum. Cold trap secara luas digunakan dalam sistem vakum ultra-tinggi, dipasang di antara inlet pompa dan ruang vakum, tidak hanya dapat secara efektif menangkap aliran kembali dari pompa difusi uap dan solusi pemecahan parsial, tetapi juga dapat menghilangkan uap dari ruang vakum. Sistem vakum ultra tinggi dengan berbagai perangkap. Vakum ultra-tinggi 10-8pa ~ l0-10pa (atau lebih tinggi) dapat diperoleh setelah dipanggang dengan suhu tinggi dan degassing. Cold trap yang umum digunakan adalah cold trap nitrogen cair, karena pada suhu nitrogen cair, tekanan uap oli pompa jauh lebih rendah daripada persyaratan vakum ultra-tinggi. Desain perangkap dingin nitrogen cair harus memastikan bahwa molekul yang melewati perangkap akan memenuhi permukaan dingin, dan strukturnya harus masuk akal. Setelah memasang perangkap dingin nitrogen cair, kecepatan pemompaan pompa difusi minyak berkurang tidak lebih dari 40%.
Mengurangi difusi balik dari gas yang dipompa adalah salah satu faktor yang membatasi pompa difusi untuk mendapatkan vakum yang sangat tinggi. Anti-difusi gas terkait dengan massa molekul. Semakin kecil massanya, semakin mudah anti-difusi. Ada dua metode untuk mencegah difusi balik hidrogen dalam pompa difusi: pertama, kurangi tekanan buang pada outlet pompa difusi, dengan menggunakan dua pompa difusi secara seri untuk mencapai; Yang kedua adalah memasang perangkap sublimasi titanium cair-nitrogen-dingin pada pipa saluran masuk pompa difusi untuk menangkap hidrogen anti-difusi.
Teknologi IKS PVD (Shenyang) Co, Ltd, PVD produsen mesin pelapis vakum dari Cina, produk utama
berisi: mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis optik, garis pelapisan PVD.Hubungi kami sekarang.E-mail: iks.pvd@foxmail.com
