Analisis Data Keuntungan Pompa Turbomolecular

Sebagai pompa turbomolecular melakukan lebih baik daripada pompa cryogenic, pompa ion, dan pompa difusi dalam beberapa aspek. Ini digunakan dalam keadaan normal.

(1) Bersihkan tanpa refluks uap minyak

Pompa turbomolecular dapat dioperasikan sesuai dengan prosedur operasi tanpa menggunakan perangkap, dan dapat memberikan lingkungan hampa udara yang sangat bersih yang mengandung hidrokarbon untuk wadah yang dipompa. Pompa turbomolecular modern jarang menggunakan oli untuk melumasi kecuali untuk pompa besar, kebanyakan pompa kecil menggunakan pelumasan yang dilumasi oleh gemuk, beberapa pompa kecil juga menggunakan bantalan udara, tetapi bantalan magnetik lebih sering digunakan. Dalam beberapa tahun terakhir, ada banyak pompa backing tipe kering, sehingga sistem pompa turbomolecular tidak ada refluks uap minyak, yang membuatnya menjadi pompa vakum kering tipe kering yang benar-benar bersih (Gambar 4).

                            Tekanan Ultimate: 2 × 10-7 Pa

Gambar 4 Spektrogram Khas Gas Sisa dari Pompa Turbomolecular

Gambar 4 menunjukkan bahwa tidak ada hidrokarbon dalam sistem pompa turbomolecular, 17 dan 18 pada kurva mengacu pada OH + dan H2O +.

(2) Mudah digunakan

Dalam banyak aplikasi, pompa turbomolecular tidak memerlukan katup vakum tinggi atau katup vakum kasar. Ini dapat berjalan hanya dengan menekan tombol tekan dan mengurangi tekanan tertinggi dari tekanan atmosfer. Sistem ini dapat dipompa kasar oleh pompa turbomolecular dan pompa dapat dipercepat ke kecepatan operasi secara langsung, yang menghilangkan kebutuhan untuk komponen vakum seperti katup, pipa, perangkap, dan pengendali katup, serta kegagalan komponen-komponen ini. Oleh karena itu, sistem pompa turbomolecular menempati ruang kecil, dan arah pemasangannya tidak terbatas. Sehingga pompa dapat dipasang ke segala arah (Tidak termasuk pompa yang dilumasi oli yang hanya dapat bekerja dalam rentang vertikal ± 5 °). Dengan fitur ini, pompa turbomolecular dapat digunakan di mana lokasi instalasi terbatas.

(3) Kemampuan transmisi gas yang kuat

Kebanyakan pompa turbomolecular memiliki kemampuan yang baik untuk mengirimkan gas ringan seperti hidrogen dan helium, sehingga sangat cocok untuk operasi proses di bawah vakum ultra-tinggi, seperti proses hidrogen kaya, detektor kebocoran spektrometer massa helium dan aplikasi lainnya. Ada beberapa pompa molekuler turbo yang dirancang khusus untuk gas korosif pompa, mereka cocok untuk etsa, pengikisan ion reaktif, pemrosesan berkas ion, deposisi uap kimia bertekanan rendah, epitaksi, implantasi ion dan proses lainnya. Dan dalam proses ini, gas yang dipompa dapat menimbulkan korosi pada pompa cryogenic, pompa ion, dan minyak pompa difusi. Ini bahkan menghancurkan pompa turbomolecular standar tetapi tidak terlindungi. Karena pompa molekuler turbo adalah sejenis pompa transmisi, gas yang dipompa dapat melewatinya tanpa akumulasi dalam pompa. Oleh karena itu cocok untuk proses beban gas tinggi, seperti sputtering, etsa dan sebagainya.

(4) Cocok untuk aplikasi vakum ultra-tinggi

Pompa turbomolekuler yang disegel dan degassed dengan pompa baling putar dua tingkat yang berfungsi baik (atau pompa pra-tahap kering dengan kinerja yang sama) dapat memiliki kekosongan akhir biasanya 10-9-10-10 Torr (yaitu, Antara 133,3 dan 13,33 npa). Jika sebuah pompa molekuler turbo dihubungkan dengan pompa molekuler turbo yang disegel dan degassed dalam seri, tekanan utamanya biasanya antara 1 × 10 −10 dan 1 × 10 −11 Torr (yaitu, antara 13.33 dan 1.333 nPa). Tidak seperti pompa cryogenic atau pompa ion, pompa turbomolecular dapat beroperasi pada kecepatan pompa penuh dalam kondisi vakum ultra-tinggi. Sifat-sifat ini serta kebersihannya yang baik (tanpa hidrokarbon), jelas pengguna akan memilih pompa turbomolecular untuk spektrometer massa resolusi tinggi, perangkat epitaksi balok molekul, instrumen analitis hampa ultra tinggi dan peralatan lainnya.

(5) Kinerja yang baik di bawah tekanan tinggi

Tekanan inlet dari beberapa pompa turbomolecular dapat beroperasi antara 10-1 dan 10-3 Torr (yaitu, 13,33 Pa dan 133,3 mPa). Pompa ion tidak dapat digunakan dalam rentang tekanan ini, untuk pompa difusi, operasi menjadi tidak stabil.

(6) Waktu bersepeda singkat

Kebanyakan pompa turbomolecular, terutama yang lebih kecil, biasanya membutuhkan waktu 1 ~ 3 menit untuk mencapai kecepatan operasi normal. Dan ada perbedaan kecil antara tipe dan model pompa yang berbeda. Pompa turbomolecular dapat segera dimatikan dan terkena atmosfer. Fitur bersepeda cepat ini berguna dalam sistem input sampel, terutama untuk detektor kebocoran tangan.

(7) Lama waktu layanan

Dalam beberapa aplikasi, pompa turbomolecular memiliki umur pemakaian yang lebih lama daripada pompa lainnya. Karena beban gas berat dan kebocoran katup menyebabkan regenerasi atau perbaikan pompa cryogenic sesekali. Selain itu, pompa molekuler turbo juga dapat menghilangkan kontaminasi ruang vakum karena oli pompa.