Gabungan sistem vakum ultra-tinggi, Pompa ion sputtering - Set pompa sublimasi Titanium
Sep 25, 2023| Gabungan sistem vakum ultra-tinggi, Pompa ion sputtering - Set pompa sublimasi Titanium
Gambar 5-17 Gabungan sistem vakum ultra-tinggi: 1- ruang vakum 2- Katup gerbang vakum ultra-tinggi 3- Pompa ion sputtering - Grup pompa sublimasi Titanium 4- Ultra -katup gerbang vakum tinggi 5- perangkap dingin 6- pompa difusi 7- katup pipa depan 8- Katup pipa vakum ultra-tinggi 9- katup pembuangan 10- pompa vakum mekanis
Gambar 5-17 menunjukkan jenis lain dari gabungan sistem vakum ultra-tinggi. Sistem ini cocok untuk tungku penyegel vakum, tungku lembaran tantalum, dan peralatan lainnya. Pompa utama dari sistem ini adalah kelompok pompa sublimasi pompa ion sputtering-titanium. Batas vakum ruang vakum bisa mencapai 5×10-7Pa. Sistem ini dilengkapi dengan unit yang terdiri dari pompa difusi oli dan pompa mekanis, yang digunakan untuk pemompaan kasar dan pemompaan awal sebagai pompa utama, dan dapat memompa keluar sejumlah besar minyak yang dilepaskan selama proses tersebut.
Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com