Pengukur Arus Massa Vakum Tinggi
Pengantar Mass flow meter (MFC) terdiri dari tiga perangkat dasar: sensor aliran, aliran-splitter memotong dan papan sirkuit cetak, secara akurat mengukur laju aliran massa despites volume gas berfluktuasi karena perubahan suhu. The MFC secara luas diterapkan di bidang semikonduktor dan IC ...
- perkenalan produk
Spesifikasi
Rentang Arus | （20,30,50,100,200,300,500） SCCM （0 ~ 1,2,3,5,10） SLM |
Ketepatan | ± 1,5% FS |
Linearitas | ± 1% FS |
Repeatability | ± 0,2% FS |
Waktu merespon | ≤4 detik |
Koefisien Suhu t | Nol: ≤ ± 0,1% FS / ℃ ； Rentang: ≤ ± 0,2% FS / ℃ |
Tekanan Maks | 3MPa |
Suhu Operasi | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Bahan Sealing | Viton, Neoprene |
Pengaturan / Output Sinyal | 0V ~ + 5.00V (Input Impedance> 100K, Output Current≤3ma) |
Sumber Daya listrik | + 15V 50mA -15V 50mA |
Koneksi Listrik | D sub 15 pin Female |
Tekanan Diferensial | ＜ 0, 01 MPa |
Tingkat Kebocoran | 1 × 10-8atm • cc / detik Dia （1 × 10-9 Pa • m 3 / detik Dia） |
Joint Standar | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (Inner) × 1 Hose Coupler, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (Inner) × 1 Hose Coupler |
Media | Semua Gas |
Emi | CE |
Berat | 0,92 kg |
pengantar
Mass flow meter (MFC) terdiri dari tiga perangkat dasar: sensor aliran, bypass aliran-splitter dan papan sirkuit cetak, secara akurat mengukur laju aliran massa despites volume gas berfluktuasi karena perubahan suhu. MFC secara luas diterapkan di bidang semikonduktor dan fabrikasi IC, ilmu material khusus, industri kimia, industri petrolic, industri farmasi, perlindungan lingkungan, riset sistem vakum, dll.
fitur
◆ presisi tinggi, umur panjang, pengulangan yang sangat baik
◆ Respon cepat, soft-start, keandalan yang baik
◆ Lebar rentang tekanan operasi (operasi yang baik dalam situasi tekanan tinggi atau vakum)
◆ Pengoperasian yang mudah dan nyaman
◆ Dapat dipasang di mana saja dan terhubung dengan komputer untuk mewujudkan kontrol otomatis.
Aplikasi Khas
Aplikasi khas MFC termasuk peralatan proses mikroelektronik seperti difusi, oksidasi, epitaxy, CVD, plasma, etsa, sputtering, implantasi ion dan bidang lain seperti peralatan deposisi vakum, pelelehan serat optik, peralatan reaksi mikro, pencampuran & sistem gas yang cocok , sistem kontrol aliran kapiler, kromatografi gas dan instrumen analitik lainnya.
Dimensi Instalasi
Packing: 1. Kotak kayu
2. Karton
3. Sebagai permintaan Anda
Pembayaran: T / T, L / C, dll.
Waktu pengiriman: Biasanya 10 ~ 15 hari setelah pembayaran
Pengiriman: melalui udara atau laut
Tag populer: flow meter massa vakum tinggi, Cina, produsen, pemasok, beli, disesuaikan, dibuat di Cina
