Peralatan Lapisan Evaporasi Berkas Elektron

Mesin pelapisan optik EB PVD, aplikasi: Kacamata, cermin reflektif, papan ponsel, tutup pelindung, komunikasi optik, tampilan optik, dll.

perkenalan produk

Mesin Pelapisan Optik IKS-OPT2700 Berkas Elektron

l Aplikasi:

Kacamata, cermin reflektif, papan ponsel, tutup pelindung, komunikasi optik, tampilan optik, dll

l Brief Peralatan

IKS-OPT2700 dirancang untuk pelapisan film optik area luas, Ini adalah mesin pelapisan elektron-beam. Sistem pelapisan mesin terdiri dari ruang vakum, pompa vakum, deteksi dan kontrol vakum, sistem pemanas substrat, sistem penguapan berkas elektron, sistem pengendapan dibantu sumber ion, sistem penguapan tahanan, sistem pemantauan ketebalan film, sistem kontrol aliran aliran volume gas kerja, kerja sistem rotasi bagian dan pelapisan otomatis dikendalikan oleh PLC.

Bahan penguapan umumnya digunakan dari logam langka, seperti yttrium fluoride, praseodymium fluoride, germanium, seng sulfida, magnesium fluorida, titanium dioksida, silikon dioksida, zirkonia, kobalt, galium, selenium dan logam lainnya. Tembaga, molibdenum, silikon, germanium, dan logam lainnya biasanya digunakan dalam bahan optik reflektor.

Itu dapat lapisan film warna cahaya tampak, film aluminium reflektif, film anti-sidik jari AF, film organik titik leleh rendah, film spektroskopi cahaya tampak, film anti-refleksi cahaya tampak, dll

l Fitur Peralatan

IKS-OPT2700 sistem pelapisan film optik area luas, menggunakan struktur ruang vakum re-optimisasi, tata letak pompa kriogenik inovatif, desain bingkai berputar benda kerja yang stabil, sistem penguapan berkas elektron canggih, perangkat penyesuaian keseragaman yang dapat disesuaikan dan kontrol proses pelapisan yang dimanusiakan, untuk mencapai lingkungan proses vakum yang stabil, memperoleh proses pelapisan terbaik, mendapat produk dilapisi berkualitas tinggi.

1. Ukuran Kamar; Ф2700 × H1670	8. ruang lantai: L6 × w5.5 × H3.5m
2. Tingkat vakum: vakum utama: 6 × 10 ^-4 Pa ( Tidak ada beban selama 24 jam tanpa pemanasan )	9.Berat: 8000kg, Berat lantai ﹥ 1000kg / m2
3. Tingkat kebocoran: ＜ 4 × 10 ^-3 Pa × L / S (Pemeriksaan kebocoran Helium)	10. Suhu: Pada suhu kamar hingga 250 ℃ , keseragaman suhu ± 5%
4. Vakum Bekerja: 6 × 10 ^-3 Pa ( Proses otomatis start-up )	11.Power Supply: Tiga Fase, 380V , 50Hz , 60-100KW
5. Vakum Rendah: 10 menit ＜ 10Pa	12. Pendinginan Air: Aliran ruang ＞ 4000L / J , Aliran pompa ＞ 1800L / J, Kompresor Pendinginan ＞ 1600L / J
6. Vakum Tinggi: 6 menit ＜ 8 × 10 ^-3 Pa	13. Air Hangat: Sumber Evaporasi1800L / H, 35-60 ℃
7. Pengukuran vakum: Pemantauan seluruh proses dan pengumpulan titik waktu-nyata

l Parameter teknik

Pemantauan ketebalan film	1.PLC kontrol terintegrasi 2. Deposisi film halus, 0.01nm / s 3. Sesuai dengan cepat, hubungan dengan pistol elektron
Kontrol Aliran	Rentang Kontrol: 3 ~ 100sccm ， 5-500sccm, Keterkaitan yang tepat dengan sumber ion, kontrol sinkron, kontrol aliran, Output stabil, energi ion stabil stabil
Sumber e-beam	Jenis: 10KW, A defleksi 270 derajat. Riak kurang dari 0,5%, bentuk dan ukuran tempat kontrol yang tepat, stabilitas operasi kontrol sistem dan akurasi tinggi. Jenis pistol: filamen tungsten, tipe tahan lama
Sumber penguapan resistansi	Jenis: Kapal Tungsten menguap dengan pemanasan. Kuantitas: Dua set elektroda, pilih instalasi. Cocok untuk proses pelapisan khusus, bertujuan pada bahan fungsi atau bahan logam untuk mencapai fungsi penguapan
Sumber ion	Jenis: Sumber ion Hall 4KW, Balok tinggi, Sudut divergensi lebar, anoda dilepas, perawatan dan pembersihan sangat sederhana
Sistem pengaturan	Antarmuka PC: 17 inci, 1set. Layar sentuh TP: 15 omcjes.1set. Sistem Utama: IKS Kontrol logika terprogram otomatis. Sistem kontrol proses otomatis yang dikembangkan oleh IKS PVD, Ini adalah sistem operasi yang cerdas untuk perekaman proses dan umpan balik kesalahan waktu nyata. Integrasi yang sempurna, desain manusiawi, dan memenuhi kebutuhan yang dipersonalisasi , untuk memberikan desain sistem operasi yang aman dan cerdas, Akurat kontrol operasi.
Desain yang aman	Sakelar perlindungan sirkuit utama, proteksi ground, Alarm abnormal komponen, Perlindungan sistem operasi, pemantauan real-time

l Keunggulan Produk

Inovasi teknologi

1. Integrasi yang wajar dari produk dan hasil inovasi teknologi, meningkatkan lingkungan proses, untuk mencapai operasi yang stabil dari sistem pelapisan!

2. Inovasi desain struktur produk masuk akal, tegas, ringkas, perawatannya mudah! (desain sikap pengguna!)

3. Operasi dan pengembangan inovasi sistem operasi, operasi sederhana, efisien dan praktis!

4. Produk dan teknologi proses untuk mencapai proses pelapisan berkualitas tinggi, meningkatkan efisiensi, keseragaman, pengulangan yang sangat baik!

5. Dapatkan kontrol cerdas dari operasi sistem pelapisan!

6. Optimalisasi sistem keselamatan, prompt kesalahan, solusi penyelesaian terperinci!

7. Efisiensi tinggi, pengurangan biaya produksi dan manajemen!

Fitur Teknologi

1. Desain produk, dengan teknologi IKS yang sempurna dan integrasi produk yang mulus, untuk menghasilkan yang andal, stabil

Memperbaiki, sistem pelapisan yang aman, cerdas!

2. Pengambilan vakum, desain ulang yang dioptimalkan dari sistem akuisisi vakum, untuk memenuhi lingkungan vakum yang cepat dan stabil!

3. Sumber penguapan dan sumber ion, tata letak yang wajar dan teknologi pemrosesan berkualitas tinggi, teknologi commissioning, untuk mencapai proses tersebut

Proses penyesuaian otomatis, struktur inovatif berkas elektron, dan deposisi material jaminan tingkat yang akurat lebih akurat dan stabil!

4. Sistem kontrol operasi otomatis, pengembangan baru dari sistem yang akurat dan stabil! Pengaturan sederhana, pengoperasian mudah!

Produk dilapisi

opt270001