Kecepatan Pemompaan Pompa Ion Ke Gas Inert

Kecepatan pemompaan pompa ion ke gas inert

Sifat utama gas mulia adalah sulit bereaksi dengan unsur lain. Oleh karena itu, film yang dihasilkan oleh sputtering bahan katoda tidak akan bereaksi dengan gas inert. Selain itu, karena efek difusi gas inert pada bahan katoda juga tidak kuat, maka kecepatan pemompaan yang dihasilkan melalui injeksi dan difusi ke dalam bahan katoda juga terbatas. Oleh karena itu, pompa ion bipolar biasa memiliki kecepatan pemompaan yang sangat kecil untuk gas inert. Kecepatan pemompaan yang kecil disebabkan oleh fakta bahwa beberapa molekul gas inert terkubur oleh bahan katoda yang tergagap. Setelah bertabrakan dengan katoda, ion-ion gas inert dinetralkan menjadi molekul-molekul dan dihamburkan dari katoda tanpa kehilangan energi, dan molekul-molekul gas inert ini mempertahankan energi yang cukup untuk ditanamkan/melekat pada anoda atau dinding pompa, di mana mereka akan dikubur oleh katoda. bahan katoda yang dihasilkan dengan sputtering.
Pompa ion Dioda Mulia dan StarCell memiliki kecepatan pompa yang lebih tinggi untuk gas mulia dengan memvariasikan jenis bahan katoda atau Sudut masuknya ion, sehingga meningkatkan kemungkinan gas inert akan menyebar ke tabung anoda atau dinding pompa dan terkubur. Kecepatan pemompaan gas inert pompa ion StarCell dapat mencapai sekitar 20% dari kecepatan pemompaan nominal, lebih baik daripada Dioda Mulia. Selain itu, bentuk katoda khusus membuat penggunaan bahan katoda lebih efisien sehingga memiliki masa pakai lebih lama (sekitar 50% lebih tinggi dibandingkan bentuk pompa ion lainnya).

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis alat, mesin pelapis DLC, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD, proyek turn-key tersedia. Hubungi kami sekarang, Email: iks.pvd@foxmail.com