pompa molekuler

pompa molekuler

Pompa molekuler digunakan untuk menggantikan pompa kriogenik dalam berbagai kesempatan teknologi di bidang semikonduktor di luar negeri, terutama perangkat sputtering, etsa dan LCVD, yang menggunakan pompa molekuler komposit dan pompa traksi sebagai pompa utama.
Waktu buang pompa molekuler lebih lama dibandingkan dengan pompa kriogenik karena kecepatan pemompaan pompa molekuler hanya seperempat dari kecepatan pemompaan pompa kriogenik dengan diameter yang sama. Untuk meningkatkan kecepatan pemompaan, pelat dingin suhu rendah -130 ℃ ~ -150 ℃ dipasang di sisi saluran masuk pompa molekuler di luar negeri, yang disebut pompa molekul suhu rendah. Uap air ditangkap oleh pelat suhu rendah, dan gas lainnya dipompa keluar oleh pompa molekuler.
Penerapan pompa molekuler suhu rendah ini di pabrik pelapisan vakum tidak hanya meningkatkan efisiensi produksi tetapi juga meningkatkan kualitas film. Dengan perkembangan pesat industri semikonduktor, industri film dan penelitian ilmiah China&# 39, pompa molekuler harus menjadi fokus industri pembuatan pompa vakum China&# 39.
Pertama-tama, pompa molekuler dari kecil hingga besar untuk membentuk rangkaian lengkap, dan penelitian dan pengembangan berbagai pompa molekuler komposit, pompa traksi, dan pompa molekul suhu rendah, untuk memenuhi kebutuhan berbagai kesempatan

Perusahaan IKS PVD, mesin pelapis dekoratif, mesin pelapis peralatan, mesin pelapis optik, jalur pelapis vakum PVD. Hubungi kami sekarang, E-mail: iks.pvd@foxmail.com